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上海新阳:ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中

財經要聞3年前 (2023-01-28)112
上海新阳在互动平台表示,公司KrF光刻胶已批量化生产销售,ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中,EUV光刻胶尚在开发阶段。...

上海新阳在互动平台表示,公司KrF光刻胶已批量化生产销售,ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中,EUV光刻胶尚在开发阶段。

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