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华为再出手投资光刻领域!增持科益虹源至第七大股东

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近日,华为哈勃科技再次出手,投资了一家半导体产业公司。

企查查信息显示,6月2日,北京科益虹源光电技术有限公司(以下简称“科益虹源”)工商信息发生变更,其中注册资本由1.2亿元增至2.02亿元,增幅68%,同时新增哈勃科技和徐州光远股权投资合伙企业(有限合伙)为股东。目前,科益虹源的大股东和实际控制人均为中科院研究所,持股26.61%,而哈勃科技持股比例为4.76%,为第七大股东。

国家财经周刊曾发文称,上海微电子将在2021年交付的28nm光刻机,由上海微电子负责光刻机设计和总体集成,北京科益虹源提供光源系统,北京国望光学提供物镜系统,国科精密提供曝光光学系统,华卓精科提供双工作台,浙江启尔机电提供浸没系统。

光刻机主要由工件台、投影物镜和光源三大核心子系统件组成。资料显示,光刻机作为前道工艺七大设备之首(光刻机、刻蚀机、 镀膜设备、量测设备、清洗机、离子注入机、其他设备),价值含量极大,在制造设 备投资额中单项占比高达23%,技术要求极高,涉及精密光学、精密运动、高精度环境控制等多项先进技术。

方正证券陈杭建议关注以举国之力助力国产替代的光刻产业链,一是光刻机核心组件:负责整体集成的上海微电子、负责光源系统的科益虹源,负责物镜系统的国望光学,负责曝光光学系统的国科精密,负责双工作台的华卓精科,负责浸没系统的启尔机电; 二是光刻配套设施:包括光刻胶,光刻气体,光掩模版,光刻机缺陷检测设备,涂胶显影设备等。

 $中芯国际(00981.HK)$  $华虹半导体(01347.HK)$ 


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